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PARKER电磁阀技术说明
PV-20系列是PTFE聚四氟乙烯含氟聚合物气动隔膜阀,
PV-20系列也适用于广泛的其他洁净区处理及分析应用,
比如控制酸、化学品和去离子水的流量。
市场:
半导体
分析试验室
特点/:
异的耐腐蚀性
均匀分布的阀座密封力Z小化隔膜和阀座应变,稳定阀门背压能力
膜片厚度Z大,Z大限度地减少潜在的渗透,同时Z大限度提高循环寿命
用在开环系统中腐蚀性流体时,自排水设计有助性
加上一个开放和横扫碗形状围绕其隔膜,
连接方式有Parflare, Pargrip 或Nippon Pillar S300 。
PV-20系列泥浆阀阀体由初形态高纯聚四氟乙烯制成
,具有更的耐化学性。
这个,再加上改性聚四氟乙烯隔膜,
使阀门具有良的柔韧性和Z高循环寿命,
制药
生物制药
航空航天
工业
符合 SEMI-F57-0301关于聚合物元件的标准
环境温度范围:0°F to +150° F (-17°C to +66° C)
用于半导体和洁净区域应用中控制研磨性泥浆介质和腐蚀性流体。
阀门的流路设计Z大限度降低产生的压降,
允许较低的上游压力需求,改进流体动力学。
Z高压力100 psig。阀门本身也非常紧凑,
应用:
半导体工具
工具挂钩
,比如那些存在于受雇于半导体制造的CMP (化学机械平坦化或化学机械抛光)工艺的 。
阀门有2通和3通型,三种通径尺寸(1/4", 1/2",和1")。
接口尺寸范围:1/4" - 1-1/4" ,
PV-20系列的角形和圆形流路,
泥浆和腐蚀性化学品分配系统
PARKER电磁阀技术说明
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