PANASONIC晶圆定位传感器主要作用M-DW1
技术参数
测量距离 45mm
检测物体 3英寸以上的半导体晶圆(注2)
可对应检测面 有受光方向反射面的端面形状的检测面(注3)
检测角度 12.5±5°(注4)
晶圆间距 间距3mm以上时，可按通常灵敏度进行分离检测(注5)
环境性能 保护构造 IP20(IEC)
使用环境温度 0〜＋55℃(注意不可结露)、存储时：−10〜＋70℃
使用环境湿度 35〜85%RH、存储时： 35〜85%RH
使用环境照明度 白炽灯：受光面照明度3,000lx以下、荧光灯：受光面照明度1,500lx以下
耐电压 AC1,000V 1分钟 所有电源连接端子与外壳之间
缘电阻 所有电源连接端子与外壳之间，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表
耐振动 频率10〜500Hz 双振幅3mm X,Y和Z方向各2小时
耐冲击 耐久98m/s²(约10G) XYZ方向各5回
适用晶圆盒 SEMI规格FOUP晶圆盒/开放式晶圆盒
电源电压 12〜24V DC±10% 脉动P-P10%以下
消耗电流 65mA以下
灵敏度切换输入 信号条件
・输入OFF：断开或4〜8V
・输入ON ：0〜3V或9V〜+V(26.4V MAX.)
灵敏度设定 背面教导：按本体灵敏度设定按钮运行
检测灵敏度切换：本体开关2bit、4或外部输入的2选择式
投光元件 LED(调制式)
材质 外壳：ABS及SUS301、透镜： 丙烯
输出动作 可用切换开关选择入光时ON/非入光时ON
短路保护 装备(自动复位)
反应时间 500μs以下
工作状态指示灯 橙色LED(输出ON时亮起)
稳定指示灯 绿色LED(稳定入光时、稳定非入光时亮起点灯)
定时器功能 装备约2ms固定断开延迟定时器 有效/无效切换式
投光停止输入 信号条件
・投光停止：断开或4〜8V
・投光：0〜3V或9V〜+V(26.4V MAX.)
(注2)：检测8英寸以下的晶圆时，可能会因晶圆间距、定位边或表面的状态而影响检测。
(注3)：对于经研磨后厚度变薄的晶圆，如果其端面呈刀刃状，可能会因光线不能从检测面向受光方向反射而难以检测。
(注4)：晶圆旋转时，定位边的大跳动角度约为±20°。
(注5)：斜向插入8英寸晶圆时的附近的间距。检测带定位边的晶圆时，对于避开定位边的检测位置，晶圆间距变得更窄，检测信号无法分解，变为连续的宽幅信号。
PANASONIC晶圆定位传感器主要作用M-DW1
销售部