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PARKER直动式压力阀,派克直动式压力阀
实现Z系统性能。加之 VSO? 低流量微型比例阀能够在各种介质上实现控制，
因此是气相色谱和质谱设备制造商的之选。
? 能够实现的低流量 (0 - 500 sccm) 控制，
清洁度 经过分析的清洁（Analytically Clean）
阀门配置类型 2路常闭
提高仪器准确度 ? 通过热补偿在各种介质中保持流量
泄漏率 <0.2 SCCM的氦气
功耗（W） Z大功率2.0瓦
重量（磅） 2.2 oz (62.9g)
低流量阀为要求流量控制在 0 - 500 sccm 之间的应用提供增强型流量控制。
PARKER直动式压力阀,派克直动式压力阀
和 VSO 微型比例阀一样，
VSO? 低流量微型比例阀可提供与输入电流成正比的气体流量控制。
阀门可通过直流电流或脉宽调制电流配合闭环反馈进行控制，
? 计算机自动校准和序列化，实现了性能可追踪性 ? 已清洗，
可用于氧气和分析 ? 经过验证的性能，
开关循环数可达 1000 万 ? 符合 RoHS 指令 典型应用：
PARKER直动式压力阀,派克直动式压力阀
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