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CKD气控阀,喜开理气控阀样本
:使用前请确认产品构成材料与使用流体及周边环境是否适用。
注2 :使用氢氟酸或者含有氢氟酸的化学液体时,
请在5~80°C范围内使用。
如果连接方式为F-LOCK60系列配件,温度范围变为5~100°C。
Cv值是温度为23°C时的值。
使用流体纯水、化学液体、空气、氮气(注1)
流体温度°C 5~120 (注2、注3)
耐压MPa 1.0
使用压力(A→B) MPa 0~0.5
CKD气控阀,喜开理气控阀样本
在使用半导体以及LCD制造的清洁化学液体(包括纯水)的设备
内,用于控制化学液体压力的减压阀
■对异物非常敏感的内置型过滤器
■流量、压力特性良,安装简单
■良的耐腐蚀性
接液部位使用氟树脂(PFA、PTFE)和SUS316,可发挥良的耐腐蚀性
■压力及流量特性
使用氟树脂膜片,与金属膜片相比,压力和流量特性更加
■由于过滤器为内置型,更能流体内无异物,更安全
■采用面板安装,使安装过程更加容易,也可以在底部进行安装
使用压力(B→A) MPa 0~0.5
阀座泄漏cm3/min 0 (水压时)
背压MPa 0~0.5
环境温度°C 0~60
CKD气控阀,喜开理气控阀样本
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